产品信息
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ET1000 (NaClO3 16,8%) 是用于 DES line 蚀刻工序的产品。
目的: 维持铜蚀刻速度
优点:
中性环境
不产生槽底沉淀泥,不堵塞过滤器及喷嘴,减少换槽清洗频率
自动补充系统运行高效